हंगरी के चिकित्सक और सर्जन एंड्रे मेस्टर को कम शक्ति वाले लेजरों के जैविक प्रभावों की खोज का श्रेय दिया जाता है, जो 1960 में रूबी लेजर के आविष्कार और 1961 में हीलियम-नियॉन (HeNe) लेजर के आविष्कार के कुछ वर्षों बाद हुआ था।
मेस्टर ने 1974 में बुडापेस्ट के सेम्मेलवेइस मेडिकल यूनिवर्सिटी में लेजर अनुसंधान केंद्र की स्थापना की और अपने जीवन के शेष समय तक वहीं काम करते रहे। उनके बच्चों ने उनके काम को आगे बढ़ाया और इसे संयुक्त राज्य अमेरिका में भी लागू किया।
1987 तक लेजर बेचने वाली कंपनियों ने दावा किया कि वे दर्द का इलाज कर सकती हैं, खेल की चोटों के उपचार में तेजी ला सकती हैं, और भी बहुत कुछ, लेकिन उस समय इसके लिए बहुत कम सबूत थे।
मेस्टर ने मूल रूप से इस पद्धति को "लेजर बायोस्टिम्यूलेशन" कहा था, लेकिन जल्द ही यह "लो-लेवल लेजर थेरेपी" या "रेड लाइट थेरेपी" के नाम से प्रसिद्ध हो गई। इस पद्धति का अध्ययन करने वालों द्वारा लाइट-एमिटिंग डायोड को अपनाने के बाद, इसे "लो-लेवल लाइट थेरेपी" के रूप में जाना जाने लगा, और "लो लेवल" के सटीक अर्थ को लेकर भ्रम को दूर करने के लिए, "फोटोबायोमॉड्यूलेशन" शब्द का प्रचलन हुआ।